Festo为半导体行业注入新动力

行业应用

2022/10/21

全球缺芯对全球半导体产业链来说是一场极大的“危机”，但是在“危机”之下也并存着机遇

如何顺利突围，是各大半导体厂家最关心的话题。

Festo的气体控制解决方案可精准控制N2对晶圆传送盒进行吹扫，确保晶圆在传输过程中状态稳定、无杂质，从而大大提升生产良率。Festo压电阀精准控制N2流量，高动态响应，能耗极低，集成通讯实现数据采集与传输。

特殊气体供应和化学打磨气体控制单元

无需动力源，仍能切断气体钢瓶的气体供应；

采用特殊的或阀设计，使系统控制不中断；

热插拔功能，无需关闭气源即可更换电磁阀；

特殊强供模块，精简回路设计。

泄漏检测解决方案

半导体厂生产过程中会使用各种气体。Festo可提供流量或压差式的泄露检测方案，通过IO-Link通讯可实时监测数据，确保生产工艺和质量的可靠性，提升生产率。

晶圆上下料解决方案

通过VTEM可实现高阶的气动控制，对运行时间、加速减速、精度都能做到精准控制，从而实现晶圆平稳且完全同步的上下料运行。

施麦柯传动技术（昆山）有限公司，是专业的气动元件类产品服务公司。代理和销售费斯托festo品牌气动元件，型号齐全，正品保障，本站未上架产品，欢迎电话或微信咨询，专业的产品工程师为您报价选型。咨询电话：13812944164